Certus - Сканирующий зондовый микроскоп (атомно-силовой микроскоп)

Certus - Сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ).

Основой СЗМ (сканирующего зондового микроскопа) является сканирующая головка. В компании "Нано Скан Технология" разработана СЗМ-головка нового поколения, которая получила имя Certus. При создании этой головки были учтены современные требования к СЗМ широкого назначения, использовались новейшие достижения в электронике и оригинальные запатентованные технические решения. Основными отличительными чертами СЗМ Certus являются:

  • Certusтрехкоординатный (XYZ) плоскопаралелльный сканер с ёмкостными датчиками на всех осях;
  • модульная архитектура, позволяющая использовать широкий диапазон лазеров для дефлектометра (вплоть до стационарных внешних лазеров);
  • легкосъемный узел крепления зонда, который позволяет использовать принципиально разные типы зондов;
  • открытая рабочая зона (точка контакта зонда и образца) диаметром 40 мм, обеспечивающая легкое наблюдение за зондом, ввод внешнего излучения и т.п.;
  • параллельный подвод зонда к образцу (используются шаговые моторы) с возможностью автоматического выравнивания головки над плоскостью образца;
  • полностью цифровая связь между головкой и контроллером.

 

Спецификация

Преимущества СЗМ Certus

Основные методики

Приборы и комплексы с использование СЗМ Certus


В основу конструкции головки положен плоскопараллельный трехкоординатный пьезосканер, разработанный инженерами компании "Нано Скан Технология".

Параметры сканера:


Основные параметры
Чертежи Certus - сканирующий зондовый микроскоп (атомно-силовой микроскоп, АСМ, СЗМ)
1
СЗМ головка
1.1
Встроенный XYZ сканер
1.1.1
Поле зрения СЗМ (диапазон сканирования)
100x100x15 μм
1.1.2
Резонансные частоты XY
1 кГц
1.1.3
Резонансные частоты Z
7 кГц
1.1.4
СЗМ пространственное разрешение (XY, латеральное) <1 нм
1.1.5
СЗМ пространственное разрешение (Z, вертикальное) <0.1 нм
1.1.6
Остаточная нелинейность
<0.3%
1.1.7 Минимальный шаг сканирования
0.1 нм
1.2 Датчики перемещения
1.2.1 Тип датчиков
Ёмкостные
1.2.2 Принцип измерения
Время-цифровые преобразования

 

Держатели зондов. Для кантилевера и tuning fork.

Все три оси сканирования снабжены ёмкостными датчиками перемещения. Измерительная часть построена на основе ВЦП (время-цифровых преобразователей), которые физически расположены максимально близко к датчикам, и непосредственно выдают цифровой сигнал, пропорциональный измеряемой емкости. Это позволяет осуществлять высокоточные измерения и передавать их в контроллер по длинным соединительным кабелям без ухудшения качества измерений.

В стандартной комплектации дефлектометр построен с использованием диодного лазера с длиной волны 670 nm. По желанию заказчика возможно использование другого, например инфракрасного, лазера. Кроме того, на головку возможна установка оптоволоконного порта для подключения внешнего лазера.


Scheme
A - фотодиод B - кантилевер
C - лазерный луч (показано схематично) D - держатель зондов
E - система подвода сканирующей головки (шаговые двигатели)

В основном режиме СЗМ Certus работает как атомно-силовой микроскоп (АСМ). В качестве дополнительных реализованы режимы: сканирующий туннельный микроскоп (СТМ), сканирование датчиком Холла, метод Кельвина и другие режимы сканирующей зондовой микроскопии.

Головка комплектуется несколькими съемными держателями зонда: для стандартных кантилеверов, для зондов типа tuning fork с вертикальным или горизонтальным расположением. По требованию заказчиков наши инженеры могут разработать крепление практически под любые оригинальные зонды.

Возможные положения внешнего объектива. Уникальный "открытый дизайн" СЗМ Certus позволяет использовать высокократные внешние объективы, осветители, конденсоры микроскопов и т.п. для освещения рабочей зоны, наблюдения за образцом и зондом, для подведения излучения в точку контакта зонда и образца.

Управление головкой Certus осуществляется с помощью универсального контроллера EG-3000 и программного обеспечения NSpec.

 

Основные преимущества СЗМ Certus

 

  • Плоскопараллельный сканер на основе неразрывных рычажных систем позволяет добиться минимальных искажений плоскости сканирования;
  • Открытое рабочее пространство диаметром 40 мм позволяет использовать практически все доступные объективы для оптических микроскопов;
  • Плоскопараллельный подвод полностью управляем с копьютера, выравнивание сканера;
  • Позиционирование по трем координатам и сканирование (XYZ) обеспечивает неподвижность образца для наблюдений в оптику;
  • Размеры образцов не ограничены.

 

Основные методики


Основные методики
1
СЗМ головка
1.1
Атомно-силовая микроскопия*
1.1.1
Контактная атомно-силовая микроскопия (АСМ)
в базовой комплектации
1.1.2
Резонансная полуконтактная (АСМ, "тейпинг")
в базовой комплектации
1.1.3
Резонансная бесконтактная (АСМ)
в базовой комплектации
1.1.4
Отображение фазы
в базовой комплектации
1.1.5
Отображение сил адгезии
в базовой комплектации
1.1.6
Силовая спектроскопия
в базовой комплектации
1.1.7 Отображение латеральных сил
в базовой комплектации
1.2 Магнитно-силовая микроскопия*
1.2.1 Магнитно-силовая микроскопия
в базовой комплектации
1.3 Сканирующая туннельная микроскопия (СТМ)*
Требуется использование специализорованного держателя зонда
1.3.1
Метод постоянного тока
с испльзованием носика для СТМ
1.3.2
Отображение работы выхода
с испльзованием носика для СТМ
1.3.3
Отображение плотности состояний
с испльзованием носика для СТМ
1.1.2
СТМ спектроскопия
с испльзованием носика для СТМ
1.4
Токовая и ёмкостная сканирующая зондовая микроскопия*
Требуется использование специализированного держателя зонда
1.4.1
Сканирующая ёмкостная микроскопия
с использованием специализированного носика
1.4.2
Сканирование зондом Кельвина (метод Кельвина)
с использованием специализированного носика
1.4.3
Электро-силовая микроскопия
с использованием специализированного носика
1.4.4
Отображение сопротивления растекания тока

1.5
Многопроходные методики*
Для реализации совмещенных методик
1.5.1
Двухпроходные методики (АСМ+МСМ и подобное)
Реализовано
1.5.2
Методы постоянной высоты (АСМ, СТМ и подобное)
Реализовано
1.6
Литография*

1.6.1
АСМ литография в контактном режиме
Реализовано
1.6.2
АСМ литография в динамическом режиме Реализовано
1.6.3
СТМ литография
Реализовано
1.6.4
Анодно-окислительная литография
Реализовано
1.7
Другие методики*
Существует несколько десятком специализированных СЗМ методик, требует специализированных держателей зонда
1.8
Методики сканирующей ближнепольной микроскопии
см. Certus NSOM
*
Зонды и держатели зондов
Многие методики требуют использования специализированных зондов и держателей зондов

 

 

Использование СЗМ Certus возможно в следующих вариантах:

Centaur U HR

комплекс, сочетающий сканирующий зондовый микроскоп, конфкальный микроскоп/спектрометр с двойной дисперсией для получения спектров рамановского рассеяния и флюоресценции и спектральных изображений, конфокальный лазерный микроскоп и оптический прямой микроскоп

Centaur U HR - АСМ/Раман конфокальный лазерный микроскоп спектрометр

  • сканирующий зондовый микроскоп (атомно-силовой микроскоп);
  • традиционный оптический прямой микроскоп;
  • конфокальный сканирующий лазерный микроскоп;
  • конфокальный сканирующий микроскоп комбинационного (рамановского) рассеяния с высоким спектральным разрешением;
  • конфокальный сканирующий флюоресцентный микроскоп с высоким спектральным разрешением;
  • спектрометр комбинационного (рамановского) рассеяния c высоким спектральным разрешением;
  • спектрометр флюоресценции с высоким спектральным разрешением.
Подробнее...

Centaur I HR

комплекс, сочетающий сканирующий зондовый микроскоп, конфкальный микроскоп/спектрометр с двойной дисперсией для получения спектров рамановского рассеяния и флюоресценции и спектральных изображений, конфокальный лазерный микроскоп и оптический инвертированный микроскоп

Centaur I HR - АСМ/Раман конфокальный лазерный микроскоп спектрометр

  • сканирующий зондовый микроскоп (атомно-силовой микроскоп);
  • традиционный оптический инвертированный микроскоп;
  • конфокальный лазерный микроскоп;
  • конфокальный микроскоп комбинационного (рамановского) рассеяния с высоким спектральным разрешением;
  • конфокальный флюоресцентный микроскоп с высоким спектральным разрешением;
  • спектрометр комбинационного (рамановского) рассеяния c высоким спектральным разрешением;
  • спектрометр флюоресценции с высоким спектральным разрешением.
Подробнее...

Centaur U

комплекс, сочетающий сканирующий зондовый микроскоп, конфокальный микроскоп/спектрометр для получения спектров рамановского рассеяния и флюоресценции и спектральных изображей, конфокальный лазерный микроскоп и оптический прямой микроскоп

Centaur U - АСМ/Раман конфокальный лазерный микроскоп спектрометр

  • сканирующий зондовый микроскоп (атомно-силовой микроскоп);
  • традиционный оптический прямой микроскоп;
  • конфокальный лазерный микроскоп;
  • конфокальный микроскоп комбинационного (рамановского) рассеяния с высоким спектральным разрешением;
  • конфокальный флюоресцентный микроскоп с высоким спектральным разрешением;
  • спектрометр комбинационного (рамановского) рассеяния c высоким спектральным разрешением;
  • спектрометр флюоресценции с высоким спектральным разрешением.
Подробнее...

Centaur I

комплекс, сочетающий сканирующий зондовый микроскоп, конфокальный микроскоп/спектрометр для получения спектров рамановского рассеяния и флюоресценции и спектральных изображей, конфокальный лазерный микроскоп и оптический инвертированный микроскоп

Centaur I - АСМ/Раман конфокальный лазерный микроскоп спектрометр

  • сканирующий зондовый микроскоп (атомно-силовой микроскоп);
  • традиционный оптический инвертированный микроскоп;
  • конфокальный лазерный микроскоп;
  • конфокальный микроскоп комбинационного (рамановского) рассеяния;
  • конфокальный флюоресцентный микроскоп;
  • спектрометр комбинационного (рамановского) рассеяния;
  • спектрометр флюоресценции.
Подробнее...

Certus NSOM

сканирующий оптический микроскоп ближнего поля

Certus NSOM - сканирующий ближнепольный оптический микроскоп.

Cканирующий зондовый микроскоп (СЗМ, АСМ), оснащенный специализированными держателями зондов и необходимым оптическим оборудованием для проведения исследований с использованием эффекта ближнего поля.

Подробнее...

Certus Optic U

сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с прямым оптическим микроскопом

Certus Optic U - cканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) Certus Optic U на базе Olympus  BX51

  • сканирующий зондовый микроскоп (атомно-силовой, сканирующий туннельный, магнитно-силовой и т.д.);
  • устройство позиционирования и сканирования;
  • классический оптический прямой микроскоп.

Подробнее...

Certus Optic I

сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с инвертированным оптическим микроскопом

Certus Optic I - cканирующий зондовый микроскоп (СЗМ) Certus Optic I на базе Olympus  IX71

  • сканирующий зондовый микроскоп (атомно-силовой, сканирующий туннельный, магнитно-силовой и т.д.);
  • устройство позиционирования и сканирования;
  • классический оптический инвертированный микроскоп.
Подробнее...

Certus Standard

сканирующий зондовый микроскоп, базовая модель

Certus Standard

Базовая конфигурация сканирующего зондового микроскопа (атомно-силового, сканирующего туннельного и т.д.), предназначенная для решения широкого класса исследовательских и аналитически задач.

Подробнее...

Certus Light

сканирующий зондовый микроскоп, модель начального уровня

Certus Light -  сканирующий зондовый микроскоп (СЗМ)

Сканирующий зондовый микроскоп (атомно-силовой, сканирующий туннельный и т.д.), предназначенный для решения широкого класса исследовательских, аналитически задач. Модель начального уровня.

Подробнее...

 

АСМ галерея

АСМ галерея

АСМ галерея

АСМ галерея

АСМ галерея

АСМ галерея

АСМ галерея

АСМ галерея

Нано Скан Технология

доступные инновации