Ratis 1X stage
Файлы
Ratis 1X – однокоординатный нанопозицонер
Ratis 1X – одно координатный позиционер,имеет компактные размеры, универсальное применение.
Ratis 1X – плоскопараллельное устройство позиционирования и/или сканирования. Сканер представляет собой монолитное металлическое тело (из высококачественного сплава, обычно алюминиевого), в котором электроэрозией и другими методами прецизионной обработки сформированы каналы для пьезокерамических актюаторов, подвижные элементы столика и т.п. Такая конструкция обеспечивает отличную линейность и плоскостность перемещения, в отличие от классических сканеров на основе пьезотрубок, поверхностью сканирования в которых является сфера. Кроме того, плоскопараллельные сканер обладает высокой механической прочностью по сравнению с хрупкими пьезотрубками.
Ratis 1X снабжен оптическим датчиком перемещения, включенными в цепь цифровой обратной связи. Это обеспечивает высокую точность и линейность перемещения, устраняет эффекты дрейфа (creep) пьезокерамики.
Сканеры Ratis 1X работает под управлением универсального контроллера EG-1100 и программного обеспечения NSpec.
Пользователь, желающий использовать свой датчик какого-либо физического сигнала и при необходимости получать его распределения в нанометровом масштабе, приобретая подобный продукт избавляется от необходимости стандартных и рутинных работ по созданию подобной системы или закупки полноценного микроскопа, таким образом, экономя средства проекта и время.
В сканерах применяется технология с использованием Оптических датчиков.
Основные параметры:
| Параметр |
Ratis 1X |
| диапазон перемещений по XY, μm | - |
| диапазон перемещений по оси Z, μm | 120 |
| резонансная частота по осям XY, kHz | - |
| резонансная частота по оси Z, kHz | 3 |
| Точность перемещения, nm | 1 |
| максимальное отклонение от нормали на полном ходу | < 0.01° |
| максимальная скорость сканирования, Гц (линий/сек) | 100 |
| максимальная масса образца, g | 100 |
Нано Скан Технология
доступные инновации
