Сканирующий конфокальный рамановский спектрометр с опцией СЗМ
ARS3000
Главными достоинствами системы являются:
- Компактные размеры
- Полная автоматизация системы
- Оригинальная конструкция спектрометра
- Высокая светосила прибора с минимальными оптическими потерями.
- Конфокальная схема выполнена по оригинальной схеме, обеспечивает компактные размеры и минимальные дрейфы оптических элементов.
- Встроенный оптический микроскоп обеспечивают удобный поиск места для измерений.
- В конструкции применены прецизионные механические комплектующие и оптика.
- Может быть использован как в условиях промышленных лабораторий, так и в исследовательских университетах.
- Стоимость базовой конфигурации 18 500 000 RUR
Основные составляющие системы :
A. Автоматизированное основание со встроенным плоским сканером для образца.
B. Конфокальный модуль содержащий оптическую схему формирования пучка возбуждения и канал детектирования вторичного (рамановского излучения).
C. Высоко чувствительная ПЗС матрица с глубоким охлаждением для записи спектров вторичного излучения.
D. Тринокуляр оптического микроскопа с возможностью наблюдения образца как в окуляры, так и видеокамеру.
E. Твердотельный лазер возбуждения, опционально 355 нм, 473 нм, 532 нм, 785нм. Для подключения внешних лазеров с другими линиями используется одномодовое транспортное оптоволокно.
F. Монохроматор
G. Атомно Силовая Головка для записи сигналов топографии образца.
H. ФЭУ одноканальный детектор.
I. HeNe лазер как базовый для спектроскопии комбинационного рассеяния.
Оптическая Схема
Оптическая чувствительность:
Спектральное разрешение и дипазон. Спектр калибровочной ртутно гелиевой лампы.
Оптическое картирование поверхности.
 |
 |
|
Изображение поверхности в режиме конфокального лазерного микроскопа. Образец Si/SiO2 структура. |
Изображение поверхности в режиме конфокального рамановского микроскопа. Образец Si/SiO2 структура. |
Картирование в режиме атомно-силового микроскопа:
Спецификация базовой конфигурации:
| XY разрешение в АСМ | < 1 нм |
| Z разрешение в АСМ | <0.1 нм |
| Диапазон сканирования | 100x100x15 мкм |
| Спектральный диапазон изм. вторичного спектра | 100..5000 см-1 |
| Спектральное разрешение | <1 см-1 |
| Свето пропускание | >80% |
| Лазеры возбуждения | 532 нм |
| Базовый детектор ПЗС матрица Andor iVac 324 FI | |
| Размер, пиксели | 1560x200 пикселей |
| Размер пиксела | 16 mkm |
| Охлаждение | до -60o |
| Шум чтения | 5.8 e |
| Темновой ток | 0.0028 e/пикс/сек |
| Мах скорость | 269 спектров/сек |
| Базовый монохроматор Andor Shamrock 500 i | |
| Фокальное расстояние | 500 мм |
| Дифракционные решетки | |
| 150 штр/мм | ДВ блеска = 500 нм, Разрешение = 0.52 нм |
| 600 штр/мм | ДВ блеска = 500 нм, Разрешение = 0.13 нм |
| 1800 штр/мм | ДВ блеска = 380 нм, Разрешение = 0.04 нм |
| Входная диафрагма (щель) | постоянная 100 мкм |
| Базовый Лазер Cobolt | |
| Тип | NdYg |
| Длинная волны | 532.8 нм |
| Мощность | 25 мВт |
| Ширина линии | < 1 pm |
| Базовый Оптический Микроскоп Olympus BX51 |
|
| Cистема освещения образца | диодная |
| Мощность диода | 100Вт |
| Тип освещения на отражение | Kohler |
| Окуляры | Широкопольные окуляры с 10х/24 mm, скорректированные на бесконечность |
| Межзрачковое расстояние | 50-70 mm |
| Тринокуляр с Селектором оптического пути | делительная призма 0:100, 50:50 |
| Система фокусировки | Автоматизированная |
| Точность системы фокусировки | 100 нм |
| Камера для видео наблюдения Moticam 2X | |
| Диагональ |
тип 1/2” CMOS |
| Разрешение матрицы камеры, px | 2500x1800 |
| Глубина оцифровки | 12 бит |
| Размер пикселя | 2.5 мкм |
| Интерфейс | WiFi |
| Блок микрообъективов | |
| Тип | турель на 4 объектива |
| Объектив 1 | |
| SLMPLN 50X | |
| Увеличение | 50x |
| N.A. | 0.35 |
| WD | 18 мм |
| Объектив 2 |
|
| MPLFLN 100X | |
| Увеличение | 100x |
| N.A. | 0.9 |
| WD | 1 мм |
| Позиционирование образца |
|
| Тип | Автоматизированная XYZ |
| Диапазон | 10x10x10мм |
| Точность | 1мкм |
| Позицонирование СЗМ головки | |
| Тип | Автоматизированная XY |
| Диапазон | 10x10мм |
| Точность | 1мкм |
| Система сканирования образцом для получения оптических, СЗМ изображений | |
| Тип | Плоский XYZ stage |
| Диапазон прецизионного сканирования | 80μmx80μmx15 μm |
| Пространственное разрешение | < 0.01нм |
| Точность перемещения | < 1нм |
| Остаточная нелинейность | <1% |
| Датчики перемещения | |
| Тип датчиков | Оптические интерференционные, абсолютная линейность, точность менее 1 нм, скорость опроса 300 кНz, встроенная функция авто калибровки. |
| Модуль Сканирующего зондового микроскопа, СЗМ головка |
|
| Световой детектор отклонения | Четырех секционный диод |
| Юстировка лазера на балку кантилевера | 2 микровинта с шагом 0.125 мм |
| Юстировка диода | 2 микровинта с шагом 0.125 мм |
| Держатель кантилеверов | Съемный, исполнение по типу SIM карта |
| Встроенный пьезо для раскачки | -10..+10В, 0..10МГц |
| Сканирование зондом опционально |
